CIF紫外臭氧清洗機(jī)
-
紫外臭氧清洗機(jī)(UVO),是一種簡(jiǎn)單,經(jīng)濟(jì),快速高效的材料表面清洗設(shè)備,能快速去除大多數(shù)無(wú)機(jī)基材(比 如石英,硅片,金,鎳,鋁,砷化鎵,氧化鋁等)上的有機(jī)污染物。CIF 推出的紫外臭氧清洗機(jī)系列產(chǎn)品采用 長(zhǎng)壽命 UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,樣品臺(tái)高度可調(diào),可選加熱控溫,以便達(dá)到清洗效果。
更新時(shí)間:2024-06-12 16:46:33
紫外臭氧清洗機(jī)原理:
通過(guò)紫外燈發(fā)出適當(dāng)強(qiáng)度的 185nm 和 254nm 波長(zhǎng)高能紫外線(xiàn)破壞有物分子 ( 污染物 )。185nm 波長(zhǎng)紫外光的光能 量能將空氣中的氧氣 (O2) 分解成臭氧 (O3),而 254nm 波長(zhǎng)的紫外光的光能量能將 O3 分解成 O2 和原子氧 (O),? ?254 nm 紫外線(xiàn)同時(shí)激發(fā)表面的有機(jī)物分子,提高其敏感性,可以被臭氧分子團(tuán)破壞。在連續(xù)進(jìn)行的光敏氧化反應(yīng)中,生成的 活性原子氧 (O) 與活化了的有機(jī)物 ( 即碳?xì)浠衔?) 分子發(fā)生氧化反應(yīng),生成揮發(fā)性氣體 ( 如 CO2,CO, H2O,NO 等 ) 逸 出材料表面,從而清除粘附在材料表面上的碳和有機(jī)污染物,達(dá)到清洗的目的。
?產(chǎn)品特點(diǎn)
◆ ?UVO 基礎(chǔ)型系列采用可編程數(shù)字控制器,設(shè)置操作簡(jiǎn)單方便,四鍵操作控制。UVOP、UVOT 系列采用 5 寸彩色觸摸屏?中英文互動(dòng)操作界面,設(shè)置顯示計(jì)時(shí)時(shí)間及加熱溫度。
◆??自動(dòng)補(bǔ)償功能,自動(dòng)恒定光強(qiáng)光密度,不會(huì)因?yàn)榈蛪汗療衾匣鈴?qiáng)衰減影響清洗效果。
◆ ?數(shù)字倒計(jì)時(shí)顯示清洗時(shí)間,1-999 分鐘之間可自行設(shè)置清洗時(shí)間。
◆ ?任何時(shí)間可以手動(dòng)中斷處理過(guò)程。
◆??自動(dòng)記錄之前清洗參數(shù)設(shè)置。
◆ ?樣品臺(tái)可控溫(可選),控溫范圍 RT-200℃,控溫精度 0.1℃。
◆ ?頂置下壓式鉸鏈開(kāi)關(guān)蓋方式,操作簡(jiǎn)單方便。
◆ ?上置式樣品臺(tái)設(shè)計(jì),360 度自由放置樣品,操作方便。
◆ ?樣品臺(tái)高度可調(diào),通過(guò)調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距,可以合理定位樣品高度和位置,并可鎖定。
◆ ?UV?石英低壓汞蒸汽格柵燈,燈管壽命大約為 8000 小時(shí)。
◆ ?高強(qiáng)度 UV 燈源,波長(zhǎng) 185nm 和 254nm。
◆ ?可累計(jì)計(jì)時(shí) UV 格柵燈使用時(shí)長(zhǎng),更換提示。
◆ ?UV 反射罩(長(zhǎng) X 寬)比 UV 格柵燈大 25mm。
◆ ?雙重安全保護(hù),帶有安全鎖,當(dāng)清洗腔打開(kāi)時(shí),系統(tǒng)自動(dòng)關(guān)掉 UV 燈,并有燈光通斷提示。
◆ ?帶進(jìn) &?出氣口雙氣路設(shè)計(jì)。
◆ ?可接入氧氣或者臭氧,增加臭氧產(chǎn)量。
◆ ?UVO5 可選外置臭氧中和器,UVO9、UVO13 系列可選外置或者內(nèi)置臭氧中和器,用于臭氧清除。
◆ ?可根據(jù)客戶(hù)要求定制鋁或石英材料真空反應(yīng)腔。
?技術(shù)參數(shù)
?
產(chǎn)品型號(hào) | UVO5/UVO5P/UVO5T | UVO9/UVO9P/UVO9T | UVO13/UVO13P/UVO13T |
UV 燈尺寸 | 130x130mm | 230x230mm | 330x330mm |
樣品臺(tái)高度 | 0-50mm 可調(diào) | 0-50mm 可調(diào) | 0-50mm 可調(diào) |
電???源 | AC220V 50/60Hz 140/190/690W | AC220V 50/60Hz 140/190/690W | AC220V 50/60Hz 140/190/1160W |
外型尺寸 | L260xW320xH200mm | L370xW470xH200mm | L465xW575xH200mm |
包裝尺寸 | L375xW470xH390mm | L490xW600xH320mm | L575xW680xH320mm |
整機(jī)重量 | 8kg | 15kg | 18kg |
注:?UVO 型基礎(chǔ)型樣品臺(tái)不帶加熱功能,樣品臺(tái)高度可調(diào);?UVOP 可選配樣品臺(tái)加熱功能,樣品臺(tái)高度可調(diào);?UVOT 標(biāo)配?樣品臺(tái)加熱功能,樣品臺(tái)高度可調(diào)??蛇x臭氧中和裝置。