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CIF實(shí)驗(yàn)室型等離子清洗機(jī)CPC-G系列

    CIF推出全新一代 CPC-G系列實(shí)驗(yàn)室型等離子體清洗設(shè)備, 顛覆傳統(tǒng)等離子體清洗設(shè)備設(shè)計(jì)理念。具有較大的腔體尺寸和有效樣 品處理面積, 使用成本低, 性價(jià)比高, 處理快速高效, 特別適合于大學(xué), 科研院所和光電企業(yè)實(shí)驗(yàn)室小批量中試生產(chǎn)。

    更新時(shí)間:2024-03-26 16:10:22
  1. 詳細(xì)信息

產(chǎn)品特點(diǎn):

◆ ?7 寸彩色觸摸屏中英文互動(dòng)操作界面,自動(dòng)控制監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài),20 個(gè)配方程序,工藝數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)追溯。

◆ ?PLC 工控機(jī)控制整個(gè)清洗過程,手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。

◆ ?石英真空艙,真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì),耐腐蝕無(wú)污染。

◆ ?采用質(zhì)量流量計(jì),實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體輸入精準(zhǔn)控制,改變傳統(tǒng)浮子流量計(jì)控制氣體流量不準(zhǔn)確問題。

◆ ?HEPA 高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

◆ ?60 度傾角操作界面設(shè)計(jì),符合人體功能學(xué),操作方便,界面友好。

◆ ?頂置真空艙,上開蓋設(shè)計(jì),下壓式鉸鏈開關(guān)方式,開關(guān)蓋方便。

◆ ?采用花灑式多孔進(jìn)氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問題。

◆ ?上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設(shè)計(jì),符合人體功能學(xué),操作更方便。

◆ ?有效清洗面積大,可清洗最大直徑 8 吋硅片。

◆ ?安全保護(hù),艙門打開,自動(dòng)關(guān)閉電源。


技術(shù)參數(shù):

?

型號(hào)

CPC-G

CPC-Gplus

射頻電源

40KHz

13.56MHz

射頻功率

0-600W

0-150W

匹配器

自動(dòng)匹配

激發(fā)方式

電容式

氣體控制

單路 MFC(可選兩路)

艙體尺寸

H100xΦ269mm

艙體容積

5.6L

艙體材質(zhì)

石英玻璃

有效處理尺寸

Φ269mm?圓盤

時(shí)間設(shè)定

9999 秒

真空泵

抽速 4m3/h

氣體穩(wěn)定時(shí)間

1 分鐘

真空度

100pa?以內(nèi)

???

AC220V 50/60Hz ?752/302W

產(chǎn)品尺寸

L425xW480xH445mm

包裝尺寸

L550xW630xH700mm

整機(jī)重量

30kg

?
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